Sorter/Prober

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Sorter/Prober

ソータは、ダイシング後のデバイスウェーハから各チップをトレーに移載し、プローバは、各チップの電気特性をチェックして良否を選別します。スピードファムのソータ・プローバは、高速かつ安定動作を実現しています。

WCP-150
WCP-150

ダイシング後ウェーハ上のチップを電気測定し、プローブ結果のマップを出力します。

  1. 1.5mm~15mm のチップに対応
  2. 4"~8"ウェーハに対応
  3. リングローダ付きの全自動装置
  4. 高電圧 (3kV) 対応
  5. フロリナート塗布・乾燥機構付き (スパーク防止)
  6. 位置、角度、NG マーク、コーナー等の画像認識
CT-200
CT-200

5"~8"ウェーハ対応のリングtoトレーのチップ移載装置です。

  1. 0.5mm~12mmのチップに対応
  2. 位置、角度、NG マーク、コーナー等の画像認識
  3. 裏面検査機能 (オプション)
  4. プローブデータによるランク分類 (オプション)
  5. 外観検査機能 (オプション)
  6. チップ反転機能 (オプション)
U-TL-50
U-TL-50

チップ記載の数字・文字を読み取り、適宜詰め替えるトレーtoトレーの移載装置です。

  1. 最小 1.5mmのチップに対応
  2. 文字の大きさは、最少 80×25um より対応
  3. マップデータを読み込んでの並び替えが可能
  4. 不要なチップをスキップ
  5. データの CSV 形式での保存が可能
PS-50M
PS-50M

2"~8"ウェーハに対応したトレーtoトレーの詰め替え装置です。

  1. トレーに詰め替える際に、チップの向きを揃えます
  2. 最少□ 0.25mm チップの詰め替えが可能

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