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Single Side Polisher/Lapper

FAM (Free Abrasive Machining) は、高硬度定盤上に自由に動く砥粒を流し、その切刃で高速研磨する、スピードファム独自の高効率片面ラップ加工です。簡便な操作性、メンテナンス性も特徴です。ラップ装置の他、パッドによるポリッシュ装置、ハードポリッシュ装置まで充実のラインナップを提供しています。シリコンウェーハから、金属、サファイアまで、広範なご要望に応える片面研磨装置シリーズです。当ウェブサイトに掲載のないモデルも多数ありますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

高精度加工を支える、関連消耗副資材も揃えています。

ベアシリコンウェーハ向け研磨装置

FAM59SPAW / FAM50SPAW
FAM59SPAW / FAM50SPAW

シリコンベアウェーハ向け自動片面研磨装置です。セラミックプレート自動搬送、超低熱膨張定盤、定盤冷却、研磨ヘッドの単独強制駆動、精密エアー加圧、通信システムなど、様々な先進技術を搭載しています。

汎用 高精度研磨装置

FAM48BAW / SPAW
FAM48BAW / SPAW

定盤径 48 インチの汎用片面研磨装置です。量産機として幅広い加工物に適用できます。ラップ、ハードポリッシュ、ポリッシュに対応します。耐蝕仕様、スラリー供給機器など豊富なオプションを揃えています。

FAM32BTAW / GPAW
FAM32BTAW / GPAW

定盤径 32 インチの汎用片面研磨装置です。幅広い加工物に対応する標準装置で、ラップ、ハードポリッシュ、ポリッシュに対応します。耐蝕仕様、スラリー供給機器など豊富なオプションを揃えています。

FAM12BS
FAM12BS

定盤径 12 インチの卓上片面研磨装置です。小さな加工対象の量産から実験用途まで、幅広く使用できます。ラップ、ハードポリッシュ、ポリッシュに対応します。

SP-1700
SP-1700

定盤径 1700mm の揺動タイプ片面研磨装置です。主に 730x920 サイズの LCD ガラス基板のポリッシュに利用される量産装置です。その他の大型加工物へも採用されています。

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